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[SEMICON Japan 2014] 高精度表面形状測定システム「Dyvoce」 – 神津精機株式会社

神津精機株式会社はSEMICON Japan 2014にて、高精度表面形状測定システム「Dyvoce」を出展。ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価ができ、ウエハに合わせてステージサイズがカスタマイズ対応可能な測定システムを紹介。 Website：http://www.kohzu.co.jp/i/

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03 12月 2014

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[SEMICON Japan 2014] 省エネ精密空調機「PAP SERIES」 – オリオン機械株式会社

オリオン機械株式会社はSEMICON Japan 2014にて、省エネ精密空調機「PAP SERIES」を出展。局所精密空調に向けた高レベルな温湿度・クリーン環境を作る精密空調機を紹介。 Website：http://www.orionkikai.co.jp/

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03 12月 2014

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[SEMICON Japan 2014] シャトル搬送システム – 株式会社レクザム

株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。 Website：http://www.rexxam.co.jp/

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03 12月 2014

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[SEMICON Japan 2014] ハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID」 – レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社はSEMICON Japan 2014にて、ハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID」を出展。高精度3D測定や、一般的なレーザー顕微鏡と比べ、約1.6倍の広視野で観察できるレーザー顕微鏡を紹介。 Website：http://www.lasertec.co.jp/

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